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ceratech靜電吸盤/陶瓷加熱器產品介紹

  • 發(fā)布日期:2024-10-03      瀏覽次數:431
    • ceratech靜電吸盤/陶瓷加熱器產品介紹

      通過將金屬電極放置在陶瓷內部并將它們燒結在一起,可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
      我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器,可充分利用各種材料技術來滿足用戶需求。我們根據等離子體環(huán)境領域和電子束使用領域等應用提供從開發(fā)到原型制作階段的產品。

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      特點/應用

      (1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)

       [材質:AlN(氮化鋁)]

      • 通過控制AlN的體積電阻率,可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。

      • 通過高度靈活的加熱器設計可以實現出色的溫度均勻性。

      • 由于AlN和電極是一體燒結的,因此不會因電極劣化而隨時間發(fā)生變化。

      • 還提供采用粘合技術的陶瓷空心結構。

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      (2)靜電吸盤(ESC)

       [材質:Al 2 O 3 (氧化鋁)]

      • ?采用層壓技術,可實現高的面內溫度均勻性。

      • ?通過使用高純度氧化鋁,可以減少金屬污染。

      • ?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。

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       [材質:噴涂Al 2 O 3 ]

      • 使用我們的氧化鋁噴涂技術可以形成致密的絕緣層。

      • 與氧化鋁板型相比,其生產成本較低。

      • 與更便宜的薄膜類型相比,它具有更高的耐用性。

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      (3)陶瓷加熱器

       [材質:AlN(氮化鋁)]

      • 通過使用高導熱率的AlN,可以實現優(yōu)異的溫度均勻性(±0.3%)。

      • 我們擁有IR相機、TC晶圓等特色檢測環(huán)境。

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      技術介紹

      ◆12英寸卡盤平面度精度

       平整度0.2μm以下

      ◆形狀控制

       根據晶圓形狀形成卡盤形狀(凹凸控制)。

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    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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