ceratech靜電吸盤/陶瓷加熱器產品介紹

發(fā)布日期：2024-10-03      瀏覽次數：431

ceratech靜電吸盤/陶瓷加熱器產品介紹

通過將金屬電極放置在陶瓷內部并將它們燒結在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術來滿足用戶需求。我們根據等離子體環(huán)境領域和電子束使用領域等應用提供從開發(fā)到原型制作階段的產品。






特點/應用

(1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)

　[材質：AlN（氮化鋁）]

• 通過控制AlN的體積電阻率，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。

• 通過高度靈活的加熱器設計可以實現出色的溫度均勻性。

• 由于AlN和電極是一體燒結的，因此不會因電極劣化而隨時間發(fā)生變化。

• 還提供采用粘合技術的陶瓷空心結構。








(2)靜電吸盤(ESC)

　[材質：Al 2 O 3 (氧化鋁)]

• ?采用層壓技術，可實現高的面內溫度均勻性。

• ?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。

• ?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。







　[材質：噴涂Al 2 O 3 ]

• 使用我們的氧化鋁噴涂技術可以形成致密的絕緣層。

• 與氧化鋁板型相比，其生產成本較低。

• 與更便宜的薄膜類型相比，它具有更高的耐用性。



(3)陶瓷加熱器

　[材質：AlN（氮化鋁）]

• 通過使用高導熱率的AlN，可以實現優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）。

• 我們擁有IR相機、TC晶圓等特色檢測環(huán)境。




技術介紹

◆12英寸卡盤平面度精度

　平整度0.2μm以下

◆形狀控制

　根據晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。