日本Amenity公司的氣流可視化設(shè)備AVIS基于霧示蹤法，在潔凈室環(huán)境中具有以下顯著優(yōu)勢(shì)：
1. 無(wú)污染且兼容潔凈環(huán)境
超純水霧化：采用超純水作為示蹤劑，無(wú)毒、無(wú)化學(xué)污染，符合潔凈室對(duì)材料純凈度的嚴(yán)苛要求，避免引入外來(lái)污染物。
顆粒尺寸可控：生成的0.5μm霧氣顆粒是潔凈室標(biāo)準(zhǔn)粒徑，既能穩(wěn)定懸浮跟隨氣流，又不會(huì)因過(guò)大顆粒沉降造成設(shè)備或產(chǎn)品污染。
2. 高精度氣流追蹤
真實(shí)反映氣流動(dòng)態(tài)：0.5μm顆粒具有極低的慣性，能精準(zhǔn)跟隨氣流運(yùn)動(dòng)(包括低速氣流)，避免示蹤劑自身干擾測(cè)量結(jié)果，確?？梢暬瘮?shù)據(jù)真實(shí)可靠。
微小擾動(dòng)優(yōu)化：設(shè)備通過(guò)調(diào)節(jié)風(fēng)量和振蕩頻率，最小化霧氣噴射對(duì)原有氣流的影響，尤其適合對(duì)氣流穩(wěn)定性要求高的潔凈室環(huán)境。
3. 直觀(guān)感染風(fēng)險(xiǎn)分析
病原體傳播路徑模擬：霧氣顆粒的運(yùn)動(dòng)可直觀(guān)顯示氣流攜帶污染物的擴(kuò)散路徑，幫助識(shí)別交叉污染風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)(如手術(shù)室飛沫傳播、制藥車(chē)間微粒擴(kuò)散)。
死角與湍流檢測(cè)：通過(guò)可視化氣流停滯區(qū)或異常渦流，優(yōu)化潔凈室換氣次數(shù)(ACH)及高效過(guò)濾器(HEPA)布局，提升單向流(層流)效果。
4. 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)評(píng)估與驗(yàn)證
無(wú)需復(fù)雜設(shè)備介入：直接目視或結(jié)合攝像記錄即可評(píng)估氣流組織，無(wú)需暫停潔凈室運(yùn)行，適合動(dòng)態(tài)驗(yàn)證壓差梯度或設(shè)備啟停時(shí)的氣流變化。
兼容驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)：支持ISO 14644-3等潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)氣流流型測(cè)試的要求，輔助驗(yàn)證單向流、非單向流性能。
5. 操作靈活與安全性
參數(shù)可調(diào)適配場(chǎng)景：通過(guò)調(diào)整霧量、顆粒大小(如降低頻率增大顆粒以觀(guān)察高速氣流)，適應(yīng)不同潔凈等級(jí)(ISO 5級(jí)至8級(jí))的檢測(cè)需求。
無(wú)安全隱患：超純水霧氣無(wú)導(dǎo)電性或腐蝕性，可在電子類(lèi)潔凈室等敏感區(qū)域安全使用，區(qū)別于油基或固體顆粒示蹤劑。
應(yīng)用場(chǎng)景示例
手術(shù)室：可視化麻醉氣體泄漏路徑，優(yōu)化排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
半導(dǎo)體車(chē)間：檢測(cè)光刻機(jī)周邊氣流擾動(dòng)，防止微粒沉積晶圓。
生物安全實(shí)驗(yàn)室：驗(yàn)證負(fù)壓環(huán)境下危險(xiǎn)氣溶膠的 containment 效果。
綜上，AVIS設(shè)備通過(guò)無(wú)害化、高精度且直觀(guān)的可視化方案，成為潔凈室氣流優(yōu)化、感染控制及合規(guī)驗(yàn)證的高效工具。
